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真空镀膜机的原理
真空主体——真空室根据加工产品的要求差异,大小也不一。目前应用的真空室有直径1.3m、0.9m、1.5m、1.8m等。燃烧室由不锈钢制成,不需要生锈、坚固等。真空室的所有部分都设有连接阀,刀具镀膜设备厂,用于连接各种泵。
辅助抽气系统:排气系统是真空镀膜机的重要组成部分,主要由机械泵、增压泵(主要引入罗茨泵)和油扩散泵组成。排气系统由“扩散泵+机械泵+罗茨泵+低温冷阱+polycold”组成。机械泵首先将真空室抽入小于2.0 * 10-2 pa 的低真空状态,为扩散泵的后续真空抽吸提供了前提,然后在扩散泵的真空室抽吸时,刀具镀膜设备工厂,机械泵与油扩散泵串联,完成抽吸作用。
真空镀膜设备,主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积等很多种。维护真空镀膜机不可少的一个环节,当发现真空镀膜机腔体漏气的时候,能及时---处理,显得非常得重要。一般真空室内漏气都是从室壁上的一些小孔或部件之前的连接位细缝中产生,当抽气系统抽气后使真空室内压强下降,外部与内部的压强差使气体从压强高的外部流向压强低的真空室内,造成真空度下降。
真空镀膜设备主要指需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,刀具镀膜设备,包括真空离子蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
根据工艺要求选择不同规格及类型镀膜设备,其类型有电阻蒸发真空镀膜设备、电子束蒸发真空镀膜设备、磁控溅射真空镀膜设备、离子镀真空镀膜设备、磁控反应溅射真空镀膜设备、空心阴极离子镀和多弧离子镀等。
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